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产品标签 | 中频磁控溅射电源 脉冲偏压电源 直流磁控溅射电源
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中频磁控溅射电源
●用途:可适用于PVD、CVD技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层
●特点:1.采用***的逆变技术和IGBT功率开关器件2.采用PWM控制技术、恒流特性好、电源控制***3.自动恒流输出,不随气压变化,提高沉积速率,工艺重复性好4.克服靶中毒,抑制靶材弧光放电及抗短路功能,内置电子电抗,具有***的负载匹配能力5.LED数码电流、电压显示、清晰直观6.轻巧、高效、节能。同等功率比可控硅电源节约电能40%以上7.模块化设计、全系列产品风冷长期稳定性好,可N+1备份、保障安全生产8.可根据用户量身定做设计制造特种电源系统
●主要技术项目:
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